目录
1 前言........................................................................................................1
2 功率半导体分立器件概述................................................................... 3
2.1 功率半导体分立器件的概念.....................................................3
2.2 功率半导体分立器件的分类.....................................................4
2.3 功率半导体分立器件的应用.....................................................7
2.4 功率半导体分立器件关键工艺.................................................8
2.4.1 外延工艺技术................................................................... 8
2.4.2 光刻工艺技术................................................................... 9
2.4.3 刻蚀工艺技术................................................................... 9
2.4.4 离子注入工艺技术...........................................................9
2.4.5 扩散工艺技术................................................................. 10
2.5 功率半导体分立器件...............................................................10
2.5.1 功率二极管..................................................................... 10
2.5.2 晶闸管............................................................................. 11
2.5.3 晶体管............................................................................. 11
2.5.4 功率半导体分立器件模块.............................................14
2.5.5 宽禁带功率半导体器件.................................................14
3 功率半导体分立器件发展现状及发展趋势.....................................17
3.1 功率半导体分立器件发展现状...............................................17
3.1.1 全球产业发展现状.........................................................17
3.1.2 国内产业发展现状.........................................................19
中国电子技术标准化研究院
II
3.2 我国功率半导体分立器件发展趋势.......................................25
3.2.1 下游需求旺盛为功率半导体分立器件带来新机遇.... 25
3.2.2 高端产品进口替代空间广阔.........................................27
3.2.3 宽禁带功率分立器件是行业持续发展的重要保障.... 30
4 功率半导体分立器件标准化现状.....................................................35
4.1 国外标准化现状....................................................................... 35
4.2 国内标准化现状....................................................................... 48
4.2.1 国内民用标准现状.........................................................48
4.2.2 国内军用标准现状.........................................................48
5 功率半导体分立器件标准体系.........................................................50
5.1 标准体系的构建原则...............................................................50
5.2 我国功率半导体分立器件标准体系.......................................51
5.2.1 基础标准......................................................................... 53
5.2.2 产品标准......................................................................... 57
6 功率半导体分立器件标准化发展目标及建议.................................66
6.1 发展目标................................................................................... 66
6.2 发展建议................................................................................... 67
6.2.1 完善标准体系，填补空白领域.....................................67
6.2.2 着重发展新材料领域标准化研究.................................67
6.2.3 功率模块应用激增，带来标准研究新问题................ 70
6.2.4 针对不同领域的应用环境与要求制定相关标准........ 71
6.2.5 鼓励发展高质量的团体标准.........................................73
中国电子技术标准化研究院
III
6.2.5 标准体系后续构建应注重军标与民标的协调............ 73
附录1 功率半导体分立器件IEC 标准转化情况................................75
附录2 功率半导体分立器件现行民用标准清单................................82
